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          產品系列

          Thermal ALD設備

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          產品介紹

          FT-300T eX
          12英寸Thermal ALD設備 

          產品介紹

          FT-300T eX系列是我公司自主研發的熱原子層沉積(Thermal Atomic Layer Deposition)設備,以高產能PEALD設備核心技術為基礎,針對金屬薄膜沉積的特殊性,對反應腔模塊及關鍵部件優化設計,實現成本更低,純度更高的金屬薄膜的沉積,可用于沉積AlOx/AlN/SnOx/TiN等多種金屬薄膜材料。在7nm及以下制程中有著廣泛的應用。


           
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