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          關于拓荊

          發展歷程

          2020
          2020年12月
          獲國際大廠先進制程重復訂單
          開展UV Cure 研發,首臺出貨到客戶端
          客戶端總流片量超過1500萬片
          2020年11月
          “十三五”國家重大專項通過驗收
          整機累計出貨量超過100臺套
          2020年09月
          認定為“遼寧省企業技術中心”

          2019
          2019年12月
          泛半導體應用TFLITE研制成功
          2019年12月
          獲評國家知識產權示范企業
          2019年12月
          完成第四輪融資
          2019年10月
          獲批設立“遼寧省博士創新實踐基地”
          2019年09月
          SACVD研制成功并出廠到客戶端
          2018
          首臺14nm硬掩膜 ACHM 機臺出廠到客戶端
          2018年12月
          12英寸ALD通過客戶端14nm產業化驗證
          2018年10月
          2017
          首臺量產型 HTM PECVD 出廠到客戶端
          2017年12月
          PF-300T在中芯國際生產線量產流片突破一百萬片
          2017年10月
          完成第三輪融資
          2017年8月
          2016
          拓荊新廠投入使用
          2016年12月
          “十一五”國家重大專項通過驗收
          2016年4月
          首臺12英寸ALD出廠到客戶端
          2016年3月
          2015
          獲批“十三五”國家重大專項
          2015年12月
          完成第二輪增資,獲國家集成電路產業投資基金戰略投資
          2015年9月
          PF-300T在中芯國際生產線突破一萬片
          2015年3月
          2014
          獲批組建“遼寧省薄膜設備工程研究中心”
          2014年12月
          中芯國際首臺量產機臺PF-300T的設備訂單
          2014年8月
          完成公司首輪增資
          2014年5月
          2013
          PF-300T通過中芯國際產品線測試
          2013年12月
          首臺12寸PF-300銷售
          2013年4月
          2012
          推出12英寸多反應腔PF-300T設備
          2012年12月
          2011
          首臺12英寸PECVD出廠到中芯國際驗證
          2011年10月
          獲批建設遼寧省半導體薄膜技術裝備工程技術研究中心
          2011年8月
          2010
          沈陽拓荊科技有限公司成立
          2010年4月
          • 微信公眾號
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